製品紹介
圧電マイクロアクチュエーター
情報通信技術の発達とSNSや動画配信サービスなどの普及によって、映像や音声など大容量の データがインターネット上で頻繁にやり取りされるようになり、データ記録装置であるハードディスクドライブ(HDD)の大容量化が求められています。NGKセラミックデバイスの圧電マイクロアクチュエーターは、ディスクの情報を読み書きする磁気ヘッドの位置を精密にコントロール。ハードディスクの大容量化と高信頼性の両立を叶えます。
HDD用圧電マイクロ アクチュエーター
電圧をかけると伸縮する圧電セラミックスには、高速応答、高精度、小型、大パワーなどの特徴があります。 磁気へッドの精密なコントロールに欠かせないHDD用超小型アクチュエーターは、世界中のデータセンターで活躍しています。
透光性アルミナセラミックス「ハイセラムウエハー」
高純度アルミナ(Al2O3)を高密度に焼結することで高い透光性と強度、耐薬品性などを兼ね備えた、光を通すセラミックスです。半導体のパッケージ工程で半導体チップを固定する基板として使われています。
ハイセラムウエハー
NGKの独自技術によって実現した12インチの大口径基板。半導体パッケージの工程において高精度な配線形成を実現し、半導体デバイスの高密度化や多層化ニーズに応えます。
複合ウエハー
加速する通信インフラを支え、より高性能に、より精密にとめざましく進化し続けるテクノロジーの最先端を、NGKセラミックデバイスは高度なものづくりで支えています。複合ウエハーはNGKグループ独自の接合技術や超高精度薄板研磨技術によって誕生した、電子デバイス用の基板です。異なる素材のウエハーを貼り合わせることで、単一材料のウエハーでは実現できない性能や機能を引き出します。
表面弾性波(SAW)フィルター用複合ウエハー
熱膨張率を従来の3分の1以下に低減したSAWフィルター用複合ウエハーをNGKグループは世界で初めて製品化しました。次世代LTEや5Gにも対応し、無線通信の高品質化を実現します。
NOxセンサー素子
車載用高精度NOxセンサーは、自動車の排ガスに含まれるNOx(窒素酸化物)濃度をppm(100万分の1)レベルで測定できる、世界初の車載用センサーです。高温下で電圧をかけると酸素イオンを通すジルコニアを使用したセラミック素子により、高温排出ガス中の直接挿入が可能で、応答性に優れるとともに長期にわたる安定した性能を発揮。NGKセラミックデバイスは、NOxセンサーの心臓部であるセラミック素子を製造しています。排ガス規制の強化に対応する最先端の製品づくりで、世界で加速する環境ニーズに応えます。
ジルコニアセラミック素子
ジルコニアの酸素イオン伝導性を活用した酸素ポンプ機能と、貴金属の触媒機能を組み合わせた素子です。
車載用高精度NOxセンサー
リアルタイムにNOx濃度を計測し、情報をエンジン制御にフィードバックすることで、排ガス浄化装置を精密に制御し、NOxの排出量を削減します。優れた検知力と耐久性により、世界中のクリーンディーゼル車に搭載されています。
半導体製造装置用セラミックス
耐熱性、耐食性、耐久性などに優れるファインセラミックス。この特長を生かし、高温の腐食性ガスやプラズマなどにさらされる半導体製造プロセスにおいても安定した性能を発揮するセラミック製品を提供しています。独自のホットプレス製法で 成形・焼成することにより、半導体に悪影響を及ぼす不純物を極限まで低減。高純度で緻密な結晶体が、高い絶縁抵抗性を発揮し、半導体の生産性を高めます。
セラミックヒーター
成膜プロセスでシリコンウエハーの温度を均一にコントロールするためのステージ。ウエハーを置く発熱体ステージの底面に、管(シャフト)を接合した独自の構造により、端子や導線をハロゲンガスなどから保護します。
静電チャック
エッチングなどのプロセスでシリコンウエハーを吸着固定するステージ。高精度ヒーターとの一体化、冷却プレートとの接合など、用途に応じた各種機能を追加でき、半導体の生産効率を格段に高めます。
