当社は日本ガイシの製品のうちエコロジー、エレクトロ二クス2つの分野に関連したセラミック部品を作っています。
高精度なプロセス技術を応用し、世界のニーズに応える微細で高性能なセラミック製品を製造しています。
ここでは車載用高精度NOxセンサー用セラミック素子と半導体製造装置用セラミックスを紹介します。
日本ガイシが世界で初めて開発。排ガス中の窒素酸化物(NOx)の濃度をppm(100万分の1)レベルの高精度でリアルタイムに測定できる製品です。トラックなどのマフラーの部分でリアルタイムにNOx濃度を検知しエンジン制御装置に情報をフィードバックするので、NOxの排出量を減らすことができるのです。
NGKセラミックデバイスでは半導体製造装置に使用される部品を製造しています。半導体製造装置は腐食性ガスやプラズマなど過酷な環境でも耐えうる、高い耐食性や耐熱性が求められます。NGKセラミックデバイスは窒化アルミニウム(AIN)などのファインセラミックスを使い、半導体製造装置用セラミックスを製造しています。特にセラミックヒーターはウエハー支持部と発熱体を一体化した製品で半導体製造プロセスに大きな変革をもたらしました。
こうした半導体製造装置で製造したシリコンウエハーに回路が印刷され、電子基板に実装されます。おもにスマートフォン、PC、自動車用など幅広い半導体として活躍しています。
NGKセラミックデバイスは
あなたの成長を応援します。